該國家科技重大專項(xiàng)由沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備公司承擔(dān),該公司董事長鄭廣文說,這是我國IC設(shè)備零部件國產(chǎn)化進(jìn)程邁出的重要一步,打破了該領(lǐng)域核心零部件長期依賴國外高價(jià)進(jìn)口的局面,可以降低同類集成電路的裝備采購成本約40%。
我國集成電路產(chǎn)業(yè)需求已占到全球一半以上,但我國集成電路產(chǎn)業(yè)的供給能力只能滿足國內(nèi)市場需求的1/10。長期以來,我國IC設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)普遍面臨關(guān)鍵零 部件采購成本高、周期長等問題,迫切需要實(shí)現(xiàn)零部件和集成制造的本土化。該公司所在的沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)園聯(lián)合中科院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司、中科院沈陽 自動(dòng)化所等單位,圍繞IC設(shè)備金屬類零部件高效精密加工等8個(gè)課題展開技術(shù)攻關(guān)與平臺(tái)建設(shè),突破了一系列技術(shù)難題。
目前,該公司已建成集精密機(jī)械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設(shè)備精密零部件綜合服務(wù)平臺(tái),通過多項(xiàng)國際先進(jìn)的表面處理制程認(rèn)證以及世界IC設(shè) 備整機(jī)龍頭美國應(yīng)用材料和東京電子公司的40余項(xiàng)考核,并被其列為戰(zhàn)略供應(yīng)商。從2011年至今,沈陽IC裝備產(chǎn)值年均復(fù)合增長率超過100%。
